Processing of nano-holes and pores on SiO2 thin films by MeV heavy ions. <I>Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B

Silva C Milanez, Varisco P, Moehlecke A, Fichtner P P, Papaléo R m, Eriksson Jan

Forskningsartikel2003Vetenskapligt granskad

Processing of nano-holes and pores on SiO2 thin films by MeV heavy ions. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B

Silva C Milanez, Varisco P, Moehlecke A, Fichtner P P, Papaléo R m, Eriksson Jan

Publicerad i

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
2003, nummer: 206, sidor: 486-489
Utgivare: Elsevier

SLU författare
Eriksson, Jan
Institutionen för molekylära vetenskaper, Sveriges lantbruksuniversitet

Permanent länk till denna sida (URI)

https://res.slu.se/id/publ/1642